自动化元件、部件
| 高信噪比低功耗IIS数字输出MEMS声学传感器关键技术与应用 | |
| 完成人： | 李刚；胡维；梅嘉欣；孙恺；荣根兰；孟燕子；刘青；唐益谦；张敏； |
| 第一完成单位： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 关键词： | 声学传感器；数字；信噪比；输出；低功耗； |
| 研究起止时间： | 2015.03 至2019.12 |
| 课题来源： | 地方计划 |
| 合作形式： | 与研究院所合作 |
| 所处阶段： | 成熟应用阶段 |
| 成果水平： | 国内领先 |
| 成果属性： | 原始性创新 |
| 成果体现形式： | 新技术 |
成果简介
1.项目主要技术内容
项目的目标产品是高信噪比低功耗 IIS 数字输出 MEMS 声学传感器。本项目MEMS 裸芯片与信号调理电（ASIC）均为自主研发且有相应的知识产权保护，且均在国内的晶圆厂与集成电路制造厂完成，推动国内形成完整的本土化产业链。
主要技术内容包括：（1）通过特殊的声学结构及声学结构设计和 IIS 数字接口的专用集成电路设计，MEMS 芯片尺寸最小达 ...
合作完成单位
- 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
成果专利Top5
- 电容式麦克风
- 具有双振膜的差分电容式麦克风
- CAPACITIVE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM MIC
- 侧面进声的硅麦克风封装结构
- 电容式微硅麦克风的制造方法