自动化元件、部件
| 高可靠性MEMS压力传感器设计与制造关键技术及应用 | |
| 完成人： | 黄庆安；周再发；聂萌；李维平；黄见秋；黄标；刘海韵；李伟华；唐洁影；王磊； |
| 第一完成单位： | 东南大学 |
| 关键词： | 几何尺寸偏差；压力传感器；高可靠性；MEMS；薄膜； |
| 研究起止时间： | 2001.01 至2016.01 |
| 课题来源： | 国家科技计划 |
| 合作形式： | 与企业合作 |
| 所处阶段： | 成熟应用阶段 |
| 成果水平： | 国际先进 |
| 成果属性： | 原始性创新 |
| 成果体现形式： | 新产品 |
成果简介
微机电系统（MEMS）技术是国际公认的战略性、前沿性、颠覆性技术，被列入《国家中长期科技发展规划纲要》（2006-2020）的优先主题方向。MEMS压力传感器是国际上第一类产业化的MEMS器件，而高可靠性MEMS压力传感器是航空航天、工业、环境检测等领域不可或缺的核心器件，技术综合性强、复杂度高、难度大，其关键技术长期被发达国家垄断或对我国禁运，严重制约了我国重点行业的发展。
在国...
合作完成单位
- 南京高华科技股份有限公司
国家科技计划支持
- 高技术研究发展计划(863计划）
获奖情况
- 江苏省科学技术奖二等奖(2018)
成果专利Top5
- 一种具有高线性度的电容式压力传感器及其制备方法
- 一种导电薄膜材料残余应力的在线测量方法及测量装置
- 一种电容式压力传感器及其制备方法
- 一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法
- 一种高灵敏度压阻式压力传感器及其制备方法