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48对棒节能型多晶硅还原炉装备技术

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1、课题任务来源与背景
本科技成果任务来源于国家工业和信息化部的电子信息产业发展基金项目“48对棒节能型多晶硅还原炉研发及产业化”，项目批准文号工信部财[2009]453号，项目的实施时间为2009年9月至2013年12月。
2、技术原理与技术指标
本课题采用的主工艺是三氯氢硅氢还原工艺（改良西门子工艺），即将高纯SiHCl3与高...
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