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基于碳化硅材料的高温半导体温度传感器研究

2016年 基础理论
  • 成果简介
温度传感器作为最基本的传感器类型之一，在工业、科技的众多领域都有广泛的应用。在众多的温度传感器种类中，半导体温度传感器具有灵敏度高、体积小、功耗低、抗干扰能力强、易集成等诸多优点而成为首选。但由于材料特性的限制，传统半导体材料制作的温度传感器不能在高温下工作，例如 Si基温度传感器的工作温度不能超过150℃，限制了其应用领域。
在诸多新型半导体材料中，碳化硅（SiC）具...
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