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含缺陷光学薄膜体/面散射特性研究以及特征分析

2016年 基础理论
  • 成果简介
针对光学薄膜中缺陷的特征提取和诊断问题，本项目从电磁理论角度出发，研究微粗糙薄膜光散射特性和薄膜与缺陷粒子复合光散射特性，通过分析各自的影响因素以及多角度光散射测量的验证，实现对薄膜和缺陷的特性提取和诊断。本项目从以下三点开展工作：
主要的研究内容：
（1） 微粗糙光学介质薄膜表面光散射特性；
根据光学薄膜粗糙度的不同，分别利用...
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