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硅砂碳化氯化法生产高纯四氯化硅新技术

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
（1）针对目前行业内各种四氯化硅生产工艺都具有其自身缺陷，不能满足四氯化硅产业化需求的现状，本工艺综合目前行业内传统处理工艺的优点，实现了以硅砂碳化氯化为主，以气固分离工艺、气液分离工艺、提纯工艺等为辅的工业化生产工艺，氯气转化率达到90%以上，收集系统四氯化硅的收集效率达到98%以上，粗产品四氯化硅含量大于95%，同时四氯化硅产品中SiH2CL 2、SiHCL3含量＜0.01%，经过简单...
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