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一种先进陶瓷零部件的抛光方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项科技成果涉及一种超精密复合抛光方法，包括：
（1）化学机械抛光：采用超细软磨粒，高性能石蜡和合成树脂制得的软材质研具以及高效活性加工液进行化学机械抛光；水合抛光：采用过热水蒸气、抛光研具和加热器进行水合抛光；非接触浮动抛光：采用SiO2 胶粒、CeO2磨粒、研具和抛光液进行非接触浮动抛光；
（2）对工件加工时，同时实施和交替上述化学机械抛光、水合...
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