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一种TFT有源矩阵的新型制造方法

2016年

应用技术

初期阶段

成果简介

本项成果是一项应用于新型显示技术中TFT工艺制作过程中发明专利技术，是一种新的技术开发应用，可解决及优化TFT工艺中关键工艺步骤，提升产品良率及工作节拍。
此项成果发明公开一种TFT有源矩阵的新型制造方法。采用结合半导体硅加工工艺与微机械加工工艺的方法实现TFT有源矩阵的制作，使TFT有源矩阵的制造工艺与半导体制造工艺相兼容。区别于传统的TFT有源矩阵必须制作在TFT玻...

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