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高精度非接触平晶检定仪

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
在光机制造方面，我国的制造能力已据全球三分之二以上，但国内现有计量检测方面的高端精密仪器大都依赖于进口。目前我国平晶平面度的测量方法主要是利用平面等厚干涉仪进行测量，将被测件放置于标准平晶表面以微薄片隔开，形成等厚干涉条纹，通过人工读取干涉条纹弯曲量与干涉条纹间距，计算平晶的工作面平面度。该方法测量的效率低下、容易划伤检测对象且局限于定性检测，不能实现平晶检测快速、无损、定量检测。本项目主...
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