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薄膜应力测试仪

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
近年来，薄膜技术与薄膜材料迅猛发展，被广泛应用到微电子、传感器、太阳能、光学、信息、防护等各个领域。大量的研究表明，薄膜的残余应力、膜基结合力和屈服强度是导致薄膜系统失效的三大主要因素。薄膜的残余应力会显著影响薄膜的膜基结合力、屈服强度、摩擦磨损以及腐蚀等重要性能，对于硬质薄膜，通常存在GPa量级的残余应力，如何改善其应力状态受到普遍关注。因此，为了更深入的了解薄膜残余应力,进而对薄膜结构...
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