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半导体材料用氟碳系列气体产品的开发与应用

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1、课题来源和背景
2011年省部产学研结合引导项目（第一批），项目编号2011B090400406
电子级氟碳化合物是半导体行业的支撑性原料，对半导体材料有着重要的支持与配套作用。目前我电子级氟碳化合物原料主要依靠进口，价格昂贵，已成为制约我国半导体产业发展的瓶颈。本成果突破了氟碳系列气体生产、纯化和包装等关键技术，建立工业化生产线，对完善国内产业链配套，确保我国半导...
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