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高纯三氯化硼的纯化技术

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
高纯三氯化硼是半导体技术领域的重要材料，广泛应用于集成电路制造技术工艺、液晶显示屏制造工艺、化合物半导体芯片工艺，主要用于硅半导体扩散参杂、离子注入和干法蚀刻等过程。在光导纤维领域，三氯化硼主要应用在复合光纤的制造过程中，同时更是氮化硼坩埚的关键材料，其产品的质量直接影响下游产品的光电性能。由于高纯三氯化硼产品纯度高，自身制备、纯化技术的难度较大，国内长期处于依赖进口的局面。
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