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微纳传感器系统集成设计与仿真应用研究

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　首次实现纳米尺度下深反应离子刻蚀工艺的三维仿真与局部电镀工艺，突破了以往仿真尺度上的限制。
　　首次提出并实现微纳器件运动的三维包络体计算，并应用于器件虚拟运行分析中，解决了以往器件运行动态过程无法可视化的问题。
　　首次实现无线传感网自供能节点能耗的实时动态仿真，解决了以往能耗无法预先估计的问题。针对无线无源多参数微纳传感器系统所需的系统集成设计问题，本项目主要研究器...
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