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12英寸 PECVD生产型设备

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1、课题来源与背景：
“12英寸 PECVD生产型设备”技术成果来源于国家科技重大专项”90-65nm等离子体增强化学气相沉积设备研发与应用”项目（项目编号2008ZX02103）。
集成电路制造产业作为信息产业的基础和核心，是国民经济和社会发展的战略性、先导性高技术产业。在半导体芯片制造方面，12英寸集成电路芯片生产线成为主流加工技术，12英寸PE...

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