首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

200mm快恢复二极管用高性能外延材料

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目开发的200mm快恢复二极管用高性能外延材料，使用掺杂渐变技术，即衬底与第一层间以及两层间采用掺杂逐渐变小的方法，使得掺入外延层的杂质呈递减趋势，即电阻率递增趋势，实现了双层外延过渡区精确可控，且两个外延层平坦，重复性好。通过改进设备进气口的设置，即在进气口处增加与基座同心的石英环，解决了厚度均匀性控制问题。该项目解决了高电阻率、缺陷、厚度均匀性控制等关键技术，研制出用于快恢复二极管...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统