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微纳米尺度几何量测量和溯源方法研究

2011年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本项目属计量科学技术领域。
　　微纳米测量技术是以半导体技术、MEMS技术、超精密加工技术为代表的微小尺度先进制造业发展的基础和保障，也是微纳米科学与技术发展的关键。微纳米加工和测量的精度直接关系到一个国家的半导体加工工业和精密制造工艺的发展，因此，先进的微纳米计量技术代表着国家在精密加工、精确定位和半导体制造等行业的优势地位，也就是在产业发展乃至国防发展上的优势地位。随着国内微纳...
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