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微机电系统的泛结构化设计方法与技术

2011年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　微机电系统（MEMS）具有体积小、重量轻、功耗低、响应快等独特优势，在航空航天等高技术领域具有迫切应用需求，在汽车、通讯、生物医学等领域也展现出广阔的应用前景，属于先进制造技术领域的发展前沿。由于涉及多学科交叉建模、微尺度下的多域耦合、非规则复杂微结构等诸多特殊问题，因此MEMS设计过程非常复杂，必须研制适应于其特殊性的高效专用设计工具。
　　本成果打破了MEMS业界以往遵循的强...

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