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大型离子束抛光设备研制

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
2009年1月-2012年12月期间,由国家自然科学基金委专项基金和中科院天文台站设备更新及重大仪器设备运行专项资助,南京天文光学技术研究所自主研制成功一台可以直接加工口径达1.5米直径镜面的大型离子束抛光设备。该设备及配套技术主要用于光学镜面加工,磨制后光学表面精度可达6纳米(均方根误差),最大加工镜面直径超过1.5米,相对其它加工方法,其特点在于:
1、加工分辨率高...
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