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飞秒激光与压力热扩散焊制备三维微电极关键工艺技术研究

2015年

应用技术

初期阶段

成果简介

随着微机电系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）的发展和应用，微型制件已广泛应用于微电子、精密机械、生物医疗以及航空航天等领域。与传统的机械制件相比，微型制件的尺寸通常在微米量级且重量较轻，因此很难用普通的加工方法对其进行加工。随着各国学者对该领域的研究，出现了一系列面向微型制件的微细加工技术：LIGA/UV-LIGA技术、微细电火花加工技术以及飞秒激光微细加工技术等。
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