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无机质子导电膜栅介质层及透明氧化物薄膜晶体管研究

2015年 基础理论
  • 成果简介
低压双电层氧化物薄膜晶体管在三端开关器、阻变存储器、探测器、电化学传感器等微器件领域具有极大的应用前景和科学研究价值。与传统薄膜晶体管不同，低压双电层氧化物薄膜晶体管采用有机/无机质子导体薄膜作为栅介质。在栅极施加正偏压的情况下，栅介质中的质子将向远离栅极的方向输运，最终在靠近沟道层的栅介质表面形成质子积累层。同时在薄膜晶体管沟道层下表面被诱导出一层电子，从而达到双电层静电调控的目的，实现...
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