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单晶硅微摩擦副的气相吸附边界润滑及其机理研究

2015年 基础理论
  • 成果简介
　　在微机电系统（MEMS）中，微器件由于表面效应作用，常发生黏着使得微机械不能动作而失效，或者磨损过度导致微器件间隙改变过度导致黏着失效。如何减小粘着力、摩擦力已成为微机械制作和使用过程中的关键问题之一。
该课题主要研究单晶硅器件表面的摩擦磨损和寿命研究，研究多种不同典型气体对硅微器件摩擦磨损的影响及改变特性，研究气相润滑剂分子在单晶硅表面吸附动力学、吸附热力学性质、成膜规律...
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