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高精度蚀刻引线框架的研发与产业化

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
集成电路引线框的传统制法，是利用冲裁模在冲床上加工。蚀刻集成电路引线框，则是利用光刻腐蚀的方法来制作集成电路引线框。随着集成电路向着大规模、超大规模和小型化高集成度方向发展, 其外引线的密度越来越高，引线节距越来越小， 间隙越来越窄，利用传统的机械冲裁法已经很难甚至无法制作。作为一种新的加工手段, 刻蚀法就得到了应用发展，本项目便是采用蚀刻工艺制作高精度引线框架。...
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