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大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置及调整方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
大面积连续溅射镀膜技术的应用主要有以下几个方面：其一为大面积金属膜的应用，主要应用在大面积的幕墙装饰领域、大面积平板显示领域和半导体领域，其工作的性质是利用金属膜的金属分光特性、金属反射特性和金属导电特性；其二为大面积光电薄膜的应用，主要应用在大面积建筑领域、汽车领域、太阳能和平板显示领域，如大面积低辐射膜，电致变色膜和大面积透明导电膜；其三为大面积光学薄膜的应用，目前主要应用在太阳能领域...
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