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4英寸P/P+硅外延片批量生产工艺技术

2000年 软科学
  • 成果简介
该攻关项目所计划的任务，并在成果转化中得到良好的社会经济效益，不但减注了与国际水平的差距，也充分说明科技攻关项目对促进部属院所科技成果转化为生产力起着关键的作用。提升器件生产技术档次，向国际水平靠拢，扩大生产规模，走规模生产效益的路。转变运行机制，建立技术先导型企业。...
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