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纳米非晶金刚石离子镀膜技术

2003年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
技术原理：
本项目利用固体离子源技术，采用微电弧放电方式，通过电弧放电，从作为阴极的固体靶面直接将石墨和其它金属材料蒸发，形成高密度的碳等离子体束（离化率为60～90%，放电气压在1×10^(-5)Torr），经过过滤后沉积在样品表面，生成纳米尺度的四面体非晶碳（ta-c）膜和金刚石膜。
整体设计上，本项目设计了阴极靶自动修磨系统，可以在计算机的控制...
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