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一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟及其生长方法

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
此成果是一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟及其生长方法,该石墨舟包括盖板、母液舟、滑板和底座。该发明的特征是盖板为分离的,每个都能很严实地盖在母液舟上而不易滑动,同时液槽的空隙部分如同一个楔形,较低位置处是一个很窄的狭缝,从而减少熔源与衬底的接触时间,实现低维结构超薄材料的液相外延近平衡态生长,而且衬底滑板正反面各有一个不同深度的衬底槽,适合不同衬底厚度情况或因为衬底厚度误差带来的衬底...
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