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一种快速反演薄膜生长厚度的光学监控追迹方法

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
此成果是一种快速反演薄膜生长厚度的光学监控追迹方法，属于薄膜生长光学监控技术领域。该方法建立了一种有别于导纳追迹方式的光学监控追迹方式，以膜系透射率的倒数及膜层等效位相厚度同时作为追迹对象，可以在监控过程中实时看到薄膜生长过程中光学特性的变化，并建立直观的监控透射率信号与膜层厚度的对应关系，完成薄膜生长厚度的监控。根据设计参数进行理论计算并作好预期追迹图像，通过实际光学监控信号的极值点来修...
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