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钛-锑-碲相变材料沉积方法及相变存储单元的制备方法

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明提供一种钛-锑-碲相变材料沉积方法及相变存储单元的制备方法,包括:沉积Ti前驱体,所述Ti前驱体包括(R1)4Ti、(R1R2N)4Ti、(R1O)4Ti、((R1)3Si)4Ti及TiM4的一种或一种以上,其中R1和R2为含有1~10个碳的直链、支链或环状的烷基,M为Cl、F或Br;沉积Te前驱体,所述Te前驱体包括(R1)2Te、(R1R2N)2Te、((R1)3Si)2Te的一...
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