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Al2O3纳米颗粒膜及其在低电压氧化物薄膜晶体管中的应用

2015年

基础理论

成果简介

研究内容：
（1）采用低温等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术制备具有质子导电性（≥5.0×10^-4 S/cm）的纳米颗粒Al2O3质子导体薄膜。优化PECVD工艺参数并且对Al2O3质子导电进行表面修饰获得大的双电层电容（≥5μF/cm^2）。
（2）采用磁控溅射系统制备具有高迁移率（≥30cm^2/Vos）的铟锌氧（IZO）薄膜。改变工艺...

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