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光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种光刻机光瞳整形光学系统及产生离轴照明模式的方法，其构成包括模式产生单元、可旋转波片、偏振分光单元、环一产生单元和环二产生单元。本发明通过选择相应的模式产生单元的衍射光学元件和适当的调整，可以产生光瞳面光强与内外直径连续可变、单环形照明模式和双环形照明多种照明模式。
与在先技术相比，本发明具有下列技术优点：
1、本发明光刻机用光瞳整形光学系统，可实...
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