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基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　一种用于光刻机的基于空间像线性拟合的光刻投影物镜波像差检测系统及检测方法。本发明采用6个方向孤立空作检测标记，通过对检测标记空间像的线性拟合来得到波像差。本发明首先建立描述0°孤立空空间像与泽尼克像差关系的线性拟合矩阵以及描述孤立空方向影响的旋转矩阵。然后通过空间像传感器扫描获得检测标记的空间像。再利用线性拟合矩阵和旋转矩阵对空间像进行最小二乘拟合得到泽尼克像差。本发明降低了检测标记的复...
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