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基于旋转达曼光栅的多路并行激光直写装置和方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种基于旋转达曼光栅的多路并行激光直写装置和方法。该装置包括激光刻写光路、自聚焦模块和电子控制模块；该装置充分利用达曼光栅分束的特点，实现了并行直写光栅；通过旋转一维达曼光栅，来实现变周期刻写光栅；通过旋转二维达曼光栅，能上千倍地提高刻写速度，从而实现更高效更快速的刻写。本装置适用于刻写大面积高密度的光栅。...
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