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步进扫描投影光刻机的照明系统

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种步进扫描投影光刻机的照明系统，沿光束传播方向，其构成包括光源、光瞳整形单元、视场定义单元、第一透镜阵列、第一狭缝阵列、第二透镜阵列、第三透镜阵列、第二狭缝阵列、第四透镜阵列、聚光镜和扫描驱动单元。本发明降低了透镜加工、狭缝扫描速度和狭缝扫描精度的要求，更容易实现。本发明的目的在于克服在先技术的不足，提出一种步进扫描投影光刻的照明系统。该系统降低了对透镜加工难度、狭缝扫描速度和狭缝扫描精...
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