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特种MEMS制造技术及其应用

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

微机电系统（MEMS）技术属于先进制造技术领域重要的发展方向。绝缘体上硅（SOI）基MEMS制造技术现已成为国际上发展高端MEMS产品的主流前沿，但我国一直缺乏完备的制造平台和工艺技术，无法满足国防急需的高端MEMS产品研制的迫切需求。本项目是在国防基础研究计划等多项国家级重点项目支持下完成的MEMS制造技术的最新研究成果。
本项目自主建立了MEMS制造平台，研究开发出...

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