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表面微机械加工红外热堆

2000年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
此成果为“九五”攻关课题。红外热堆传感器用途广泛，用于红外测量、 非接触测温、铁路发热监控、报警以及辐公路等。器件根据Seeback效应，将两种具有不同热电势的材料组成热电偶对串联构成热电堆，因温差产生电势差测量温度。研制成器件性能达到：响应率15～25V/W，集成度：50对/2×2mm^2 ；响应时间＜50ms；测量范围-50～2000摄氏度。...
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