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光学表面残差频域及亚表面损伤表征及修正理论与制造技术研究

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
现代高分辨率、超分辨率成像光学系统以及高能激光系统对其核心元件质量提出苛刻要求,除要求表面面形残余误差峰谷值和均方根值外,还要求其残余误差各频域分布以及亚表面损伤程度满足特定的需求,以保证成像的质量和提高光学元件的损伤阈值。但是,目前国内兴起的数控计算机表面成形技术对于制造具有高质量表面尚具有一定难度,在此基础上提出的全频段残余误差控制以及亚表面损伤控制更是一个新的难题和挑战。
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