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微磨粒切削刃特征化可控的精密镜面磨削与应用

2015年 基础理论  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目主要来源于国家自然科学基金项目、教育部留学回国人员启动基金项目、广东省科技计划项目和企业委托研发项目。光学透镜、光电芯片等零部件采用单晶硅、玻璃、陶瓷等硬脆性材料，但其材料硬脆性很难将其加工成高精度型面和光学镜面。传统的方法是采用游离磨粒的研磨抛光技术，但效率低且磨料液有排放问题。目前，采用微米乃至纳米尺度的固结金刚石砂轮磨料可实现精密镜面磨削，但修锐工艺复杂，成本过高。此外，传统的...
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