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微加工静电超声传感器的工作机制与理论模型

2004年 基础理论
  • 成果简介
该项目研究的主要内容是：对常规机械加工的V型槽传感器提出空气弹簧支撑的板模型；对微加工的U型槽传感器，该研究进一步计及了膜片张力和微米级气隙的影响，揭示了静电负刚度的作用，提出了空气弹簧支撑的张力板模型，准确预测了传感器的机电声行为；对坑阵式背板纹理的传感器，提出了三维描述的空气弹簧支撑的张力板模型的一般理论，揭示了硅超声传感器的复杂工作机制，从而解决了三大基本类型的静电超声传感器的工作机...
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