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半导体光电功能材料磷化铟、氮化镓和氧化锌的特性研究

2004年 基础理论
  • 成果简介
　　该项目围绕制约磷化铟、氮化镓和氧化锌器件光传导和发光效率的三个主要因素展开了研究，并逐步解决了工艺技术问题：通过特殊的退火工艺将铁杂质转移到铟的位置上，则铁不仅代替了铟的功效，而且使材料的性能得到进一步的提高；提出了从器件前方的脱离接触式加热法，实现在衬底表面薄膜区域的局域加热，在不降低热处理温度的前提下解决原子的扩散问题；在薄膜的制备过程中增加了氧的供应，辅以特殊的退火技术，提高了激光发射效...
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