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SiC单晶片超声-机械复合切割关键技术研究

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本项目完成了超声-机械复合切割样机的设计和制造一台，并在其上进行了实验分析和设计，完成了表面粗糙度的模型，可以通过该模型预测不同参数下的SiC单晶片表面粗糙度值。目前认为达到国内领先，加工的SiC单晶片的表面翘曲度和表面粗糙度为我省IC行业的大功率器件衬底的制造效率的提高提供了理论依据和实验室数据，为光伏产业的发展中的Si单晶片表面质量的提高和生产提供了依据。...
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