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在碲锌鎘晶体上制备金电极的方法

2015年

应用技术

初期阶段

成果简介

本发明公开了一种在碲锌鎘晶体上制备金电极的方法，用于在在碲锌鎘晶体上制备金电极以及引出线，所述方法首先选择电阻大于109Ω的高阻CZT作为电极的CZT基底；然后溅射一层Au膜；蒸镀一层Au膜；然后立即放入快速气氛退火炉中，在气氛为氮气的环境下进行快速退火，退火的参数：温度150～250℃，时间5～10分钟，完成Au电极制备。由于采用先离子溅射，再蒸镀镀金，最后退火的方法制备金电极，既发挥了...

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