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CVD金刚石薄膜探测器制作工艺

2015年

应用技术

初期阶段

成果简介

本发明涉及一种CVD金刚石薄膜探测器制作工艺，包括以下步骤：1、配件制备及清洗：加工金属壳体、螺丝、聚四氟乙烯配件，取CVD金刚石薄膜，分别清洗，干燥备用；2、预镀金层：对CVD金刚石薄膜两面与金属壳体接触的部位分别蒸镀金层；3、探测器封装：将金刚石薄膜、聚四氟乙烯配件、金属壳体组装成探测器，在CVD金刚石薄膜与金属壳体、聚四氟乙烯配件的空隙填充绝缘胶，用螺丝固定；4、探测器两面整体镀金：...

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