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基于粘附的双稳态加速度感应微开关

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种基于粘附的双稳态加速度感应微开关，它属于微电子元器件领域，主要解决现有微开关的“误关”和“瞬态闭合”问题。该微开关包括感应质量块(34)、支撑梁(35)和框架(32)，支撑梁的两端固定在框架上，框架的上下面分别固定有上顶盖(31)和下底盖(33)，质量块与上顶盖之间的距离控制在0.1～1μm之间，质量块(34)的下部沉积金膜形成动极板(36)，下底盖内侧沉积金膜形成定极板(...
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