首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

一种硅微加速度传感器芯片

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种硅微加速度传感器芯片，包括中央硅质量块，中央硅质量块位于外围支撑硅基的中间，在外围支撑硅基的正面和中央硅质量块相邻的一边的两端配置有两个硅膜，两个硅膜的一面与外围支撑硅基和中央硅质量块相连，另一面与硅悬臂梁连接，硅悬臂梁上的中间配置有四个压阻条，构成惠斯通电桥，当加速度作用于传感器芯片时，将有惯性力作用于中央质量块，进而使得梁膜结构发生变形，压阻条在硅悬臂梁的应力作用下其阻值发生变化，...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统