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一种碳纳米管场致发射显示器下基板结构的制作方法

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种场致发射显示器，具体涉及一种碳纳米管场致发射显示器下基板结构的制作方法。先在场致发射显示器的下基板上制得栅极电极层，再在栅极电极层上印刷整面水溶性绝缘介质层，再在水溶性绝缘介质层上印刷整面阴极电极层，再利用菲林图形模型做掩膜，通过光刻法对整面阴极电极层进行曝光显影，再利用阴极电极层作掩膜，对整面水溶性绝缘介质层进行湿法刻蚀，形成与阴极电极层相同图形的水溶性绝缘介质层；在阴极电...
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