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一种钇钡铜氧涂层导体前驱膜的制备方法

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种钇钡铜氧涂层导体前驱膜的制备方法，将Y、Ba、Cu三种金属离子总浓度为1.5mol/L≤c≤2.0mol/L的钇钡铜氧前驱液旋涂于已用丙酮超声清洗过的LaAlO3单晶基片上，涂覆条件为环境温度低于30℃和环境相对湿度低于40％，然后将旋涂好的LaAlO3单晶基片置于管式炉中进行低温热处理，水汽分压为610.5-1228Pa，即获得均匀完整的钇钡铜氧涂层导体前驱膜。该方法制备...
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