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基于屈曲的低电压变形微驱动器

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
  本发明公开了一种基于屈曲的低电压大变形微驱动器,它属于微机械领域,主要解决现有微驱动器驱动电压过高、驱动位移过小、响应时间长的问题。该驱动器包括微梁(34)、固定机座(38)、驱动电路(33),其中微梁(34)通过外构架(37)固定,该外构架的两端固定有上顶盖(40)和下底盖(39);固定机座(38)的两端固定有上导向槽(31)和下导向槽(35),用于限制微梁的左右运动;上导向槽(31)和下导...
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