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一种提高直拉硅单晶生产效率的方法

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
  本发明公开了一种提高直拉硅单晶生产效率的方法,包括以下步骤:
  1、硅原料及掺杂剂准备;
  2、装料;
  3、单晶炉炉内处理:按直拉法常规处理工艺,依次完成合炉、抽真空、熔料、引晶、放肩、转肩和等径生长过程;
  4、后期处理,过程如下:首先、关闭单晶炉的石墨热场系统,使单晶炉的加热功率降至零;之后,石英坩埚内剩余硅熔体表面开始结晶,且待结...
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