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硅片切割废砂浆分离提纯方法

2017年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种硅片切割废砂浆分离提纯方法，包括以下步骤：
　　1、废砂浆固液分离，获得固体分离物和混合液一；
　　2、PEG分离及回收：对混合液一依次进行三级过滤、树脂处理和真空蒸馏后，获得PEG成品；
　　3、晶体硅粉分离及回收：对固体分离物进行多次沉降分选及固液分离后，再对所获得固体过滤物进行酸洗、过滤、脱水及烘干处理，获得晶体硅粉；
　　...
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