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直拉单晶的补料方法及补料装置

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
  本发明公开了一种直拉单晶的补料方法,采用棒状原料作为补料材料,将棒状原料夹持在补料器中,合炉后在熔料过程中操纵重锤夹头下降,使棒状原料下降至石英坩埚的上方进行预热,当石英坩埚中的原料熔化完后,操纵重锤夹头继续下降,使得棒状原料下降至熔硅中进行熔化,完成补料。本发明还公开了上述补料方法采用的装置,包括穿孔式补料器或卡环式补料器两种形式,所述穿孔式补料器包括与重锤夹头相连接的连接架,连接架通过吊杆...
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